DGS03 质量流量控制系统DGS03

质量流量控制系统DGS03主要用于对气体的质量流量进行控制和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石

郑州炜盛电子科技有限公司是一家专业从事气体传感器（气敏元件）研发、生产、销售并为客户提供完整的产品解决方案的高新技术企业，具备先进的气体传感器生产工艺技术，是国内气体传感器行业的领先者。目前，炜盛科技每年为全球市场提供超过350万支的各类气体传感器。
      炜盛科技拥有河南省气敏领域唯一的省级企业技术中心和河南省气敏功能材料与气体传感器工程技术研究中心，拥有中、高级技术人员30余人，各种生产、检测、研究开发设备200余台，拥有多项气体传感器及相关领域的专利与非专利核心技术。公司注重加强与国内科研院所和高校的交流与合作， 不断创新和进取，始终站在气体传感器发展的前沿。公司相继通过了ISO9001:2008质量管理体系认证、矿用产品安全标志认证和Rohs认证等。
      炜盛科技的产品包括红外气体传感器、电化学气体传感器、平面半导体气体传感器、载体催化元件、半导体气体传感器、热传导式气体传感器、固体电解质气体传感器和热线型气体传感器等八大系列130多个品种。检测气体种类覆盖绝大多数可燃气体（甲烷、丙烷、氢气等）和多数毒性气体（一氧化碳、硫化氢、苯等），广泛应用于工业、矿业、航空航天、民用、商业等领域。产品自批量投放市场以来，以优异的灵敏度，良好的稳定性、可靠性和完整的产品解决方案在国内、国际市场赢得了良好的声誉。
      炜盛科技本着开拓创新、追求卓越的精神致力于为客户提供完整的产品解决方案和优质的服务，并致力于推动民族气体传感事业的发展。

质量流量控制系统DGS03主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：微电子工艺设备、，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。系统默认配置为： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：数字。
∮主要技术参数：
流量规格(N2) （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
准确度 ±1.0% S.P .   (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.    (＜35% F.S.)
线性 ±0. 5% F.S.
重复精度 ±0.2% F.S.
工作压差范围（＜0.02MPa） 0.05~0.35Mpa    流量规格≤10SLM
0.1~0.35Mpa      流量规格＞10SLM
温度系数 零点：≤±0.05FS/℃;  调节时:≤±0.1FS/℃
耐压 3MPa
响应时间 ≤2sec
漏率 1×10-10pa.m3/sec He
密封材料 氟橡胶;   氯丁橡胶
工作环境温度 (5~45) ℃

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