四探针电阻率测定仪使用注意事项

发布时间：2017-04-27浏览次数：2328返回列表

导读：四探针电阻率测定仪是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。四探针电阻率测定仪的使用要注意以下事项：

1、测试电源，电源电压值应该在220V左右，电压偏差不得过2%，否则影响测试定标，偏差过大甚至会损坏电路。（AC110V使用需要配备AC110V转AC220V电压转换器）

2、接好测试线，测试线连接到仪器上时，务必确保仪器上插座的凸起与测试线插头的凹槽对应好，并将螺圈旋紧。

3、接好电源线；上电，开关的电源灯点亮（若电源灯不亮，需要更换在后面板电源插头处的保险丝，规格为1A）。面板上数码管p,n同时各闪下。每次开机后请测试下低阻样片，检测仪器是否正常。

4、将测试探针接触待测的样品：n点亮代表N型的半导体材料；p点亮代表P型材料；如果遇到两个数码管均不亮，般情况下为很低的电阻率（<10-2以下），此时，蜂鸣器和红灯应处在报警状态。

5、红灯亮及蜂鸣器响时为设定的低电阻以下及重掺报警。

6、出品时，厂家按用户要求定标，可选定标：0.1欧姆*厘米、0.2欧姆*厘米、0.3欧姆*厘米、0.5欧姆*厘米。

7、在测量时，为确保探测致性，探针需垂直点在接触面上，探针的大倾斜角度不应过20度；探针探测时请勿用劲压到底，以弹簧缩的限长度为限。探测时，探针入针套3/4以上，这样可以利用弹簧的力量使测量的致性良好。切忌：不能用蛮力将针使劲紧，使弹簧无法发挥作用。

8、在测量非平面材料时，应注意不要使探针歪曲变形。

9、如果遇到探针断在针套内的情况，请更换探针套（随机带来）。方法是将白色的探头用工具轻轻拔出（注意：要轻轻拔出，否则可能将内部连线拉断）。去除热缩管，将针套焊开，更换新的针套，用热缩管保护，插回白色的探头。

10、由于回收硅料有各种类型, 此测试仪测量的结果可能会有所偏差；待测样片需打磨之后测试。建议50个小时换次针。

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