测量电阻率的方法很多，四探针法是种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便，度，对样品的形状无严格要求。zui常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同直线上，并且间距相等，都是S，般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。般目前的四探针电阻率测定仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。
    仪器配置各类测量装置可以测试不同材料。液晶显示，无需人工计算，并带有温度补偿功能，电阻率单位自动选择，仪器自动测量并根据测试结果自动转换量程，无需人工多次和重复设置。采用AD芯片控制，恒流输出，结构合理、质量轻便，运输安全、使用方便；选配：配备软件可以由电脑操控，并保存和打印数据，自动生成报表；仪器采用了zui新电子技术行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等点。
    四探针电阻率测定仪适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。
    四探针软件测试系统是个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，通过此测试程序辅助使用户简便地行各项测试及获得测试数据并对测试数据行统计分析。
    测试程序控制四探针测试仪行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据行各种数据分析。