当可挥发性有机物的电离电位(IP)小于紫外灯能量的化合物气体或蒸汽通过离子化腔时，PID的紫外光源(UV)就会将该化合物击碎成可被检测到的正负离子(该过程即离子化)，检测器测量离子化后的气体电荷并将其转化为电流信号，然后电流被放大并转化为浓度值。在被检测后，离子重新复合成原来的气体或蒸汽，是一种无损检测VOCs方法。
  VOCs在线监测设备使用运营和维护的所有人员须经培训合格后方可持证上岗，需要严格按照操作规程使用仪器设备，并做好系统维护，才能保证监测设备的使用寿命和数据准确，关于维护需要注意下面事项：
  1、采样/预处理单元
  针对采样头、伴热管、反吹系统、气体预处理等设施进行清洗、保养、维修换等工作，保证气体管路畅通，防止气路的堵塞和泄漏，保证气体预处理系统的过滤、冷凝、排水等设施的正常运行。
  2、 在线监测单元
  温度压力流速一体化分析仪、GC-FID分析仪等设备，在满足国家环保总局和省环保局的各类技术规范要求的基础上，进行VOCs在线监测设备的日常维护、保养、校验、维修等工作。
  3、 数据采集单元
  从一次仪表和数据采集设备上所采集到的监测数据是否一致，从一次仪表到各级环保部门监控平台的监测数据保证同步传输，保证数据采集设备的正常运行。
  4、监测站房单元
  保持监测站房的清洁，保证站房内的温度、湿度、电力设施、到达采样点的安全设施均达到监测设备的运行要求。
  5、监测仪器校验
  每月进行一次全系统的校验，进行零点、跨度、线性误差和响应时间的检测，做到零气与标准气体和样品气体通过的路径(如采样探头、过滤器、伴热管)一致。