残余气体分析仪(四质谱仪)

Transpector2的特点 I100－，200－，和300－am

Transpector 2 的特点

·I100－，200－，和300－amu系统带法拉第杯或电子倍增器/法拉第杯的组合。

·改进的氢检测。

·与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍

·快速扫描低值讯号

·个量级的电子学动态量程

·用于单传感器和多传感器系统的软件选件

·分压测量从1×10-4乇至2×10-14乇

Transpector 2 是基于四极场的智能传感器，全部传感器电子驱动加上微处理器安装在一个附在传感器上的小型、轻便的密闭匣内。由于它是智能的传感器，具有相当的灵活性，您可以使用当前的计算机或从INFICON选购PC和软件包。两种通讯链接，RS232用于单传感器，RS485用于多传感器配置，将Transpector2 连接控制计算机。简单的指令协议支配全部Transpector功能。

RGA 应用(主要用途)

* 检漏

* 真空设备本底状况鉴定

* 在线工艺气体监测分析

* 检漏 

   -  真空系统泄漏(内漏,外漏)

   -  可设置报警点,实现报警功能

   -  与氦质谱检漏仪的区别:

	RGA	氦质谱检漏仪
示漏气体	氦气或其他任何示漏气体	氦气
可检漏类型	内漏,外漏	外漏
显示	TWare32软件检漏模式/监控模式 (离子流/分压强)	显示面板(漏率)

* 真空系统本底状态鉴定

  在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值

* 真空系统污染监测和控制

  清洗介质残留,返油(碳氢化合物),表面放气(空气, H2O,   O2, CO, CO2)

  通过软件中的标准气体库,可确定气体成分.

* 真空工艺监控

  - 在线监控:实时反映工艺异常或偏差

  - 数据按时间自动存储(SOD文件)以便

    日后追溯进行工艺分析

  - 继电器输出可用于控制阀门

  - 模拟输出可连线PLC

* 镀膜工艺研究开发

  各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响

RGA的选用 - 为您的镀膜机选择合适的RGA

* zui小可检分压强(MDPP)

    法拉第杯(FC):  3 x 10-13 Torr

    电子倍增器(EM)+法拉第杯(FC):10-14~10-15 Torr

* 质量数(AMU)

    取决于需要探测的气体

    100AMU传感器 探测范围: 1-100AMU

     200AMU传感器 探测范围: 1-200AMU

     300AMU传感器 探测范围: 1-300AMU

    绝大多数工业应用仅需100AMU传感器 

* 工作压强范围

    - 标准RGA: < 5 x 10-4 Torr

    - 高压强型XPR3: < 1 x 10-2 Torr

- 若需在更高压强下工作, 须使用取样系统(IPC400)

 

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