气体分析仪-对高纯气体分析的探讨

气体分析仪-对高纯气体分析的探讨

目前高纯气体分析的形式

高纯气体中微量杂质的分析一直是色谱分析的难点.

① 热导检测器TCD 目前国内在高纯气体分析领域多数采用的热导(TCD)检测器由于灵敏度有限,很难测定5ppm以下的杂质;

② 氧化锆检测器 氧化锆检测器由于是一种选择性的检测器,只能分析少数几种气体杂质;

③ 氩离子检测器 氩离子检测器又往往带有放射源,均不能达到高纯气体分析的基本要求.随着国内高纯气体行业的发展和气体用户对气体纯度的要求越来越高,以上几种检测器已经不能完成对高纯气体中微量杂质的检测.

④ 电子捕获检测器ECD 此检测器灵敏度高，却含有放射源，对人体有害，一般单位未经许可不允许使用。

⑤ 氦离子检测器 HID 从前使用的HE离子检测大都是进口的，进口的氦离子报价100多万，价格比较贵。

新的发展趋势

至南京科捷分析仪器有限公司自主研发出脉冲放电氦离子化气相色谱仪，并申请国家(：ZL2006 2 0074774.X)后，此仪器对高纯气体分析有很好的响应，国内能检测到PPb级含量的检测器。相比以前常使用的检测器，他的优点在于：

检测器种类          通用性          灵敏度            线性范围     载气                        是否明火

TCD热导检测器        通用         低           一般      一种                            否

FID氢火焰检测器      对特定气体        高         一般      氢气、空气、氮气或氦气三种       是

HID氦离子检测器     通用         很高         宽        氦气                             否