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硅棒电阻率测试仪原理

发布时间：2022-07-05浏览次数：931返回列表

电阻率测试仪基于涡流（Eddy Current）测试，，能够对硅料、硅棒、硅锭及硅片进行无接触、无损伤的体电阻率测试。
主要特点
采用涡流法测试硅锭、棒、回炉料体电阻率
无接触、无损伤快速测试
测试前%表面处理
对于多晶，能够避免晶界对测试的影响
测试范围：0.01-100 ohm.cm (分段测试）
可选加无接触PN型号测试功能
用户可定义分类范围

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