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方阻测试仪
发布时间:2023-02-14浏览次数:807返回列表
1、,半导体材料电阻率的,及,标准测试方法。
2、测量厚度大于4倍探针间距的硅晶体,也可测量薄硅片电阻率及方阻。
3、电阻率测量范围复盖,常用的区段:0.01—199.9Ω·cm 。
方块电阻测量范围复盖,常用的区段:0.1—1999Ω/□。
4、配置恒流源,测量电流稳定,分两档:1mA、10mA,每档在大范围内调节(1mA:0.1—1mA;10mA:1mA—10mA)。
5、测量精度高:电器测量精度优于0.3%;
整机测量误差:测量1-100Ω·cm的标准硅片误差≤±3%。
测量大于100Ω·cm和小于1Ω·cm的标准硅片误差≤±5%。
6、重量轻,约2.5kg;体积小:240×210×100(mm)。
7、可配用多种探针间距的四探针头:1.00mm、1.59mm。