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产品详情

YQDH-500JJC多靶磁控溅射镀膜机

  • 产品/服务:YQDH-500JJC多靶磁控溅射镀膜机
  • 型 号:YQDH-500JJC
  • 单 价:面议 
  • 更新日期:2018-04-17
  • 有效期至:长期有效
  • 浏览次数:1576
产品简介

多靶磁控溅射镀膜机 型号:YQDH-500JJC 货号:ZH5498 产品简介 ...

产品详细介绍

多靶磁控溅射镀膜机
型号:YQDH-500JJC
货号:ZH5498

  该镀膜机主要用于科研实验,可制备纳米和微米的单层及多层工能膜-硬质膜,光学膜,金属膜,铁磁薄膜,半导体膜,介质膜和氧化物薄膜等多种薄膜。
  该镀膜机为前开门式设计,功能强,镀膜稳定,重复性好,操作简便。真空室材料均采用优良材SUS304不绣钢材料制造,规范,,了材料的成膜纯度。
  采用分子泵+直联机械泵机组,具有抽速快,无油,操作方便快捷,易于维护的特点。
1     镀膜方式:可实现多靶共溅模式
2     磁控靶:圆柱/平面靶;
3     进气系统:三路流量计;
4     镀膜室体积:500×500×600mm3
5     限真空度:6.7×10-5Pa; 恢复真空度:从大气抽到6.7×10-4Pa;﹝40分钟﹞
6     真空抽气系统:机械泵与分子泵组成;
7     真空测量系统:数显复合真空计;
8     工作电源:真流电源500W;射频电源500W﹝13.56MHz﹞;加热控温电源;
9     工作烘烤温度:室温~800℃可控可调﹝PID控温﹞;
10    选配件:石英晶振测厚仪,冷却水机组等;
11    供电电源:三相AC380V,50Hz
 www.centrwin.com
www.ghitest.com


 

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