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产品简介
多靶磁控溅射镀膜机 型号:YQDH-500JJC 货号:ZH5498 产品简介 ...
产品详细介绍
多靶磁控溅射镀膜机 型号:YQDH-500JJC |
货号:ZH5498 |
产品简介 该镀膜机主要用于科研实验,可制备纳米和微米的单层及多层工能膜-硬质膜,光学膜,金属膜,铁磁薄膜,半导体膜,介质膜和氧化物薄膜等多种薄膜。 该镀膜机为前开门式设计,功能强,镀膜稳定,重复性好,操作简便。真空室材料均采用优良材SUS304不绣钢材料制造,规范,,了材料的成膜纯度。 采用分子泵+直联机械泵机组,具有抽速快,无油,操作方便快捷,易于维护的特点。 1 镀膜方式:可实现多靶共溅模式 2 磁控靶:圆柱/平面靶; 3 进气系统:三路流量计; 4 镀膜室体积:500×500×600mm3 5 限真空度:6.7×10-5Pa; 恢复真空度:从大气抽到6.7×10-4Pa;﹝40分钟﹞ 6 真空抽气系统:机械泵与分子泵组成; 7 真空测量系统:数显复合真空计; 8 工作电源:真流电源500W;射频电源500W﹝13.56MHz﹞;加热控温电源; 9 工作烘烤温度:室温~800℃可控可调﹝PID控温﹞; 10 选配件:石英晶振测厚仪,冷却水机组等; 11 供电电源:三相AC380V,50Hz www.centrwin.com www.ghitest.com |
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