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MF5706气体质量流量计局部温度场变化
发布时间:2015-02-03        浏览次数:1208        返回列表

  、什么是MF5706气体质量流量计?

  热式质量流量计是利用传热原理检测流量的仪表,即流动中的流体与热源之间热量交换关系来测量流量的仪表,过去我国曾称作量热式流量计。早期开发的重点是气体小流量仪表,后发展到HVAC(暖气通风空调)和烟道气大管径流量测量,近10年则在液体微流量测量方面有较快发展。但当前测量仍以气体为主,本文按此予以阐述。

  第二、MF5706气体质量流量计及其应用领域

  我司拥有知识产权的质量流量传感器技术支持,能根据用户的需求提供的在线流量计量。传感器系采用进口微机电芯片独特的兼容工艺制造,保证其具有高的可靠性。传感器可测量低至0.01m/sec及高达65m/sec。针对不同的应用,传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以保证输出。

  第三、MF5706气体质量流量计局部温度场变化

  不同于其它MEMS传感技术,纹徕公司在单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理,在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提高其可靠性。当没有气体介质流过传感器芯片时,传感器周围保持稳定的温度场。当气体介质流过传感器芯片时,温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重分布。这种局部温度场变化取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量,通过校准,专门设计的信号处理电路和智能控制软件可测量实际的介质质量流速。介质质量流速则可换算成体积流速及累计介质体积流量。

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