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微波光电导载流子复合寿命测试仪采用微波反射无接触光电导衰退测量方法
发布时间：2015-10-09浏览次数：1397返回列表
微波光电导载流子复合寿命测试仪/少子寿命测试仪 型号：HAD-100A
HAD-100A型微波光电导载流子复合寿命测试仪是参照半导体设备和材料组织SEMI标准MF1535-0707及标准GB/T 26068-2010设计制造。并且我单位是微波反射法标准起草单位之一。本设备采用微波反射无接触光电导衰退测量方法，适用于厚度为1mm以下的硅片、电池片少数载流子寿命的测量，提供无接触、无损伤、数字显示的快速测量。寿命测量可灵敏地反映半导体重金属污染及缺陷存在的情况，是半导体质量的重要检测项目。
寿命测量范围：0.25μs-10ms；样品电阻率下限>0.5Ω·cm。
读数方式：数字直读。
