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类型四探针测试仪恒奥德 型号GSZ-SDY-5测量范围见资料(MΩ) 双电测四探针测试仪 四探针测...
类型 | 四探针测试仪 | 恒奥德 | |
型号 | GSZ-SDY-5 | 测量范围 | 见资料(MΩ) |
双电测四探针测试仪 四探针测试仪 针测试仪 型号:GSZ-SDY-5
双电测四探针测试仪采用了四探针双位组合测量术,利用电流探针、电压探针的变换,行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,从而提了测量结果的度
使用本仪器行测量时,由于不需要行几何边界条件和探针间距的修正,因而对各种形状的薄膜材料及片状材料有广泛的适用性。仪器特别适用于测量片状半导体材料电阻率以及硅扩散层、离子注入层、异型外延层等半导体器件和液晶片导电膜、电热膜等薄层(膜)的方块电阻.
仪器以大规模集成电路为核心件,特别采用了平面轻触式开关设计和各种作状态LED示.并应用了微计算机术,利用GSZ-HQ-710F型微计算机作为专用测量控制及数据处理器,使得测量、计算、读数加直观、快速,并能打印预置和测量数据。
术标:
1、测量范围:电阻率:0.001-200Ω.cm(可扩展)
薄层电阻:0.01-2000Ω/口(可扩展)
可测晶片厚度:≤3.00mm
2、恒流电源:电流分为100mA、1mA、10mA、 100ma 四档 ;连续可调;稳定度优于0.3%
3、数字电压表:量程:0-199.99mV;分辨率:0.01mV度:±0.1%
显示:四位半红色发光管数字显示。性、小数点、超量程自动显示;
4、模拟电路测试误差:(用1、10、100、1000 ?电阻测量)≤±0.3%±1字;
5、整机度:(用0.01至180Ω.cm硅标样片测试)≤4%
6、专用微计算机能:
A 键盘控制测量取数,自动控制电流换向和电流、电压探针的变换,并行正、反向电流下的测量,显示出平均值
B 键盘控制数据处理,按内存公式计算出薄层电阻或电阻率平均值以及百分变化。
C 键盘控制打印测量数据。包括测量条件,各次测量平均值、zui大值、zui小值,百分变化等数据。
7、外形尺寸:电气主机:360mm×320mm×100mm; 微计算机:300mm×210mm×105mm
8、仪器重量:电气主机:约4kg;测试架:约5kg;微计算机:约2.5kg;
9、电源:AC 220V±10%,50Hz,率<25W
10、测试环境:温度23±2℃;相对湿度≤65%;无频干扰;无强光照射。
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