四探针测试仪 测试仪

类型四探针测试仪恒奥德 型号GSZ-RTS-4测量范围见资料（MΩ） 四探针测试仪 测试仪 型号：GSZ-...

类型	四探针测试仪		恒奥德
型号	GSZ-RTS-4	测量范围	见资料（MΩ）

四探针测试仪 测试仪 型号：GSZ-RTS-4

四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了新电子术行设计、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。

术　　标：

测量范围 电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)； 方块电阻：0.01～2000Ω/□(可扩展)； 电导率：0.005～1000s/cm； 电阻：0.001～200Ω.cm； 可测晶片直径 140mmX150mm 200mmX200mm 400mmX500mm 恒流源 电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调 数字电压表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　 分辨力：10μV； 输入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 显示：四位半红色发光管数字显示；性、超量程自动显示； 四探针探头基本标 间距：1±0.01mm； 针间缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3%； 探针：碳化钨或速钢Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证) 模拟电阻测量相对误差 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 整机测量zui大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% 整机测量标准不确定度 ≤5% 计算机通讯接口 并口 标准使用环境 温度：23±2℃； 相对湿度：≤65%； 无频干扰； 无强光直射；

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