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四探针电阻率测定仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。...
四探针电阻率测定仪 型号:H7795
数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
四探针电阻率测定仪 由主机、测试台、四探针探头、计算机等分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了新电子术行设计、装配。具有能选择直观、测量取数快、度、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、等院校对半导体材料的电阻性能测试。
四探针电阻率测定仪 术 标 :
测量范围
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电阻率:10-5~105 Ω.cm(可扩展); 方块电阻:10-4~106 Ω/□(可扩展); 电导率:10-5~105 s/cm; 电阻:10-5~105 Ω; |
可测晶片直径
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140mmX150mm(配S-2A型测试台); 200mmX200mm(配S-2B型测试台); 400mmX500mm(配S-2C型测试台); |
恒流源
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电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调 |
数字电压表
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量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 输入阻抗:>1000MΩ; 度:±0.1% ; 显示:四位半红色发光管数字显示;性、超量程自动显示; |
四探针探头基本标
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间距:1±0.01mm; 针间缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或速钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力); |
四探针探头应用参数
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(见探头附带的合格证) |
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87行) |
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整机测量大相对误差
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(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
整机测量标准不确定度
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≤5% |
计算机通讯接口
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并口,速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时)。连接电脑使用时带自动测量 能,自动选择适合样品测试电流量程; |
标准使用环境
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温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%; 无频干扰; 无强光直射; |
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