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流量控制器 HAD-D07-7B
发布时间:2014-03-19浏览次数:1454返回列表
流量控制器 型号;HAD-D07-7B
HAD-D07-7B型 流量控制器
仪器简介:
流量控制器(MFC)用于对气体的流量进行地测量和控制。用于电子设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
参数:
满量程流量范围(N2) |
5SCCM~10SLM |
控制范围 |
2~100%F.S. |
阀类型(及阀初始状态) |
电磁调节阀(常闭) |
度 |
±1.5%F.S. |
线性 |
±0.5~1.5%F.S. |
重复度 |
±0.2%F.S. |
响应时间 |
≤7sec |
工作温度范围 |
5~45℃ |
工作压差 |
0.1~0.5MPa |
耐压 |
3MPa |
漏气率 |
1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 |
氟橡胶(或氯丁橡胶) |
电插头形式 |
DB15 pin(Female) |
接头选择 |
VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose |
重量 |
1.1Kg |