1、测量原理：触针法，电感传感器
2、驱动箱水平滑行范围：100mm；
3、驱动箱滑行速度：0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s；
4、传感器返回形式：手动，自动；
5、基准导轨的直线性：1μm/任意40mm；
6、驱动箱升降：滚动丝杠升降系统，机动升降，自动对准零位；
7、立柱垂直测量高度：
  粗糙度系统：300mm；
  形状系统：240mm;
8、工作台结构：500mm×620mm大理石平台，双T形槽；
9、形状测量系统：
1) 测量范围：垂直4/20mm，水平100mm；
2) 测量精度：垂直0.3%，水平0.03%；
3) 垂直分辨力：0.25μm/4mm，1.25μm/20mm；
4) 水平分辨力：1μm ；
5) 测量参数：垂直距离，水平距离，两直线夹角，圆弧半径，倒角宽度，圆心-端面、圆心-圆心、直线交点-直线交点、点-直线距离；
6) 水平放大倍率：2，5，10，20，50，100，200，500；
7) 垂直放大倍率：10，20，50，100，200，500，1000，2000；
8) 传感器测杆长：150mm；
9) 测针长度：22mm；
10) 针尖角度：11°；
11) 针尖半径：25μm；
12) 测力：0.02-0.06N；
13) 传感器滑行角度：上升角≤77°，下降角≤88°。
10、粗糙度测量系统
1) 量程：16/160μm；
2) 示值精度：≤±5%；
3) 小分辨力：0.001μm；
4) 取样长度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；
5) 评定长度：N倍取样长度，N=1，2，3，4，5；
6) 数字滤波器：国标、相位校正、不滤波、高斯；
7) 测量参数：Ra，Ry，Rp，Rv，Rz，Rq，Rtm，Rt，Rpm，Rvm， Sm，S，D，Sk，Rku，Δq，Δa，λq，R3y，R3z，NR1，NR2，tp；
8) 图像分析功能：轮廓曲线-NR，轮廓曲线-支承率，幅度分布-支承率， 支承率-图表等；
9) 轮廓图形的垂直放大倍率：100，200，500，1000，2000， 5000，10000，20000，50000，100000，200000；
10) 轮廓图形的水平放大倍率：2，5，10，20，50，100，200，500， 1000，2000，5000；
11) 传感器测针：金刚石圆锥，锥角90°，针尖半径5μm;
11. 直接轮廓测量系统
1) 量程：16/160μm；
2) 测量参数：P a，Pp，Pv，Pz，Pq， Pt，Psk，Pku，PΔq，Psm；
3) 图像分析功能：曲线-NR，曲线-支承率等。