1．引言
电容电压（C-V）特性测试仪是测试频率为1MHz的数字式电容测试仪器。用于测量半导体器件PN结势垒在不同偏压下的电容量，也可测试其它电容。
仪器有较高的分辨率，电容量是四位读数，可分辨到0.001pF，偏置电压分辨率为0.01V，漏电流很小分辨率为0.01μA或0.1μA（可选）。
该测试仪器性能稳定可靠，功能齐全，精度高，操作简单，适用于元件科研部门，高等院校等单位。
2. 原理
CV法利用PN结或肖特基势垒在反向偏压时的电容特性，可以获得材料中杂质浓度及其分布的信息，这类测量成为C-V测量技术。这种测量可以提供材料横截面均匀性及纵向杂质浓度的分布信息。
组成半导体器件的基本结构的PN结具有电容效应（势垒电容），加正向偏压时，PN结势垒区变窄，势垒电容变大；加反向偏压时，PN结势垒区变宽，势垒电容变小。
该仪器采用电流电压测量方法，它用微处理器通过8 次电压测量来计算每次测量后要求的参数值。用一个相敏检波器和模数转换器顺序快速完成电压测量。正交测量通过交换测量信号的相位来进行，而不是参考相位检测。因而不需要的模拟相位转换成电压矩形波电路。通过从同一个高频信号源形成测试信号和参考信号，来保证正确的相位关系。由微处理器根据已知的频率和测试信号相位，用ROM 存储器内的程序和所存储的按键选择来控制测量顺序，以及存储在RAM 中的校准数据来计算被测元件数值。