真空度测试常见的有破坏性测试方法和无损检测方法。

破坏性测试方法常见的是采用针头刺入容器顶空，通过压力（真空度）传感器探测获取真空度，该测试方法在一定程度上会受到管路中空气的影响，可以用于真空度的粗略抽查，在小顶空容器中表现尤为明显。应用是用于粗略的进行密闭容器完整性测试（CCIT）评估，方法是将高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留样半年到1年，然后观察瓶内真空度。如果里面还有一定真空度，即里面的压力是微负压，说明瓶子是不漏的；相反，如果里面的压力是常压，说明瓶子是漏的。

如果是用于工艺的优化和标准的制定，通常会采用无损的真空度测试方法。无损的真空度测试方法常见的是激光法（即调频光谱法（FMS）），它的基本原理是空气中的O2、水汽、CO2会在一定波段下有激光吸收，并且会得到吸收的图谱,吸收的激光量(在图中是峰高或振幅)和物质的含量成正比，其中水汽的激光吸收图谱中的峰宽（波峰和波谷之间的横向距离）和顶空总压力成正比。采用激光法能够对容器进行无损真空度测试。激光法对真空度的小检出限大约为7mbar。

测试原理

真空度测试仪采用磁控放电法进行测量。将真空开关灭弧室的两触头拉开一定的距离，施加电场脉冲高压，将灭弧室置于螺线管圈内或将新型电磁线圈置于灭弧室外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场。对于不同的真空管型号(管型)，由于其结构不同，在同等触头开距、同等真空度、同等电场与磁场的条件下，离子电流的大小也不相同。通过实验可以标定出各种管型的真空度与离子电流间的对应关系曲线。当测知离子电流后，就可以通过查询该管型的离子电流一真空度曲线获得该管型的真空度。

在常规磁控放电测试灭弧室的真空度时，为了提高其测试灵敏度，需从断路器上卸下灭弧室，并置于螺线管线管内。而使用磁控线圈可以从侧面包围灭弧室，这样就不必拆卸灭弧室。而采用单片微机进行同步控制与数据采集处理，提高了灭弧室真空度的现场测试灵敏度。

真空度测试仪将灭弧室的两触头拉开一定的开距，施加脉冲高压，将电磁线圈环绕于灭弧室的外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，这样在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子做螺旋运动。对于不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同，当测知离子电流后，通过离子电流一真空度曲线，由计算机自动完成真空度的计算，并显示真空度值。

采用磁控放电法进行测量。将真空开关灭弧室的两触头拉开一定的距离，施加电场脉冲高压，将灭弧室置于螺线管圈内或将新型电磁线圈置于灭弧室外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，离子电流的大小也不相同。