解析匀胶机原理材质的选择

从其原理来说，匀胶机有以下两个特点。

（1）旋转速度

转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。转速控制方面有认定标准，如美国NIST标准等。

（2）真空吸附系统

真空泵一般采用无油泵，即通常说的干泵，因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴的胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。有的匀胶机通过联动机制，当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎进入真空管道系统。

匀胶机匀胶机

该匀胶机的技术参数：

Speed Ⅰ调速范围：500～2500 r/min；

Timer Ⅰ匀胶时间：0～18 s；

Speed Ⅱ转速范围：800～8000 r/min；

Timer Ⅱ匀胶时间：0～60 s；

转速稳定度：±1%；

电机功率：40 W；

被镀物质尺寸：Φ12～Φ100mm。 [3]

材质的选择

对于半导体化工行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国等型号都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点

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