四探针电阻率测定仪MHY-7795技术指标

发布时间：2015-10-14浏览次数：1144返回列表

四探针测试仪四探针检测仪四探针测定仪/四探针电阻率测定仪
型号：MHY-7795

MHY-7795型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器。

仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。

仪器采用了新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

技　术　指　标：

测量范围电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；

方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；

电导率：10-5～105 s/cm；

电阻：10-5～105 Ω；

可测晶片直径 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；

200mmX200mm(配S-2B型测试台)；

400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调

数字电压表量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　

分辨力：10μV；

输入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1% ；

显示：四位半红色发光管数字显示；性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标间距：1±0.01mm；

针间缘电阻：≥1000MΩ；

机械游移率：≤0.3%；

探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；

探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数 (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差

( 按JJG508-87进行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整机测量大相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度 ≤5%

计算机通讯接口并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量功能，自动选择适合样品测试电流量程；

标准使用环境温度：23±2℃；

相对湿度：≤65%；

无高频干扰；

无强光直射；

配置四探针测试仪主机、探针台、四探针探头、

北京美华仪科技有限公司