测量时，先使平晶边缘轻轻地与被测表面接触，逐渐使整个表面接触，再调整平晶使与被测表面之间保持一微小夹角，直到出现清晰的干涉条纹为止。如干涉条纹很密而调整平晶位置又不能使干涉条纹的间距加宽，则说明被测表面或平晶上有微尘或其他杂物，应清洗。

  光在平晶表面反射和被测表面反射回来的光线形成干涉现象。由于被测表面平面度的影响，干涉光线的光程差不同，因此形成干涉条纹。通过测量干涉条纹的弯曲量并计算可得被测样品的平面度。
          

  是利用光线的干涉原理，在波的传播过程中，介质中质点的振动虽频率相同，但步调不一致，两个质点的振动步调一致，为同相点；介质中各质点同时参与两个振源引起的振动。

  质点的振动为这两个振动的矢量和，距离差为波长的整数倍时，两波源在P点引起的振动的步调一致，为同相振动，叠加结果是两数值之和，即振动加强，是强点；叠加结果是两数值之差，即振动减弱，是弱点；由此看来，强点与弱点只与位置有关，不随时间变化。正因为不随时间变化，才被观察到，才能形成干涉图样。