点击图片查看大图
FT-351高温四探针电阻率测试系统
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
一.概述：overview
采用四探针双电组合测量方法测试方阻和电阻率系统与高温箱结合配置专用的高温四探针测试探针治具与PC软件对数据的处理和测量控制，满足半导体材料的电导率对温度变化测量要求，的测控软件实时绘制出温度与电阻，电阻率，电导率数据的变化曲线图谱，及过程数据值的报表分析.
Adopt four probe double electric
combination test method to test square resistance and resistivity system .
Combined with high temperature box for special high temperature four-point
probe test probe jig with PC software for data processing and measurement
control. Meet the test requirements of
the co
FT-351高温四探针电阻率测试系统二.适用行业：Applicable industry:
广泛用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.
Is widely used in: Corporate. colleges and
universities and scientific research departments of co
双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计符合单晶硅物理测试方法标准并参考美国 A.S.T.M 标准。
The double electric four-point probe is
used to measure the four probes in a straight line.The design co
FT-351高温四探针电阻率测试系统
三.型号及技术参数Models and technical parameters：
|
规格型号Models |
FT-351A |
FT-351B |
FT-351C |
|
1.方块电阻范围sheet resistance |
10-5～2×105Ω/□ |
10-6～2×105Ω/□ |
10-4～1×107Ω/□ |
|
2.电阻率范围resistivity range |
10-6～2×106Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
10-5～2×108Ω-cm |
|
3.测试电流范围test current range |
0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
10mA ---200pA |
|
4.电流精度current accuracy |
±0.1%读数 |
±0.1读数 |
±2% |
|
5.电阻精度resistance accuracy |
≤0.3% |
≤0.3% |
≤10% |
|
PC软件界面 PC software interface |
显示：电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness |
||
|
7.测试方式test mode |
双电测量Double electrical measurement |
||
|
8.四探针仪工作电源working power |
AC 220V±10%.50Hz <30W
|
||
|
9.整机不确定性误差/ machine uncertain errors |
≤3%（标准样片结果 standard samples） |
≤15% |
|
|
zui高温度(选购)Highest temperature (choose and buy) |
常温 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ |
||
|
气氛保护（气体客户自备） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) |
常用气体如下：氦(He)、氖(Ne)、氩(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均为无色、无臭、气态的ink" target="_blank">单原子分子
The
usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon
(Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous mo |
||
|
温度精度 Temperature precision |
冲温值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控温精度 co |
||
|
升温速度： rate of temperature increase |
常温开始400℃--800℃需要15分钟；800℃-1200℃需要30分钟；1400℃-1600℃需要250分钟—300分钟
a |
||
|
高温材料 High temperature material |
采用复合陶瓷纤维材料，具有真空成型，高温不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder |
||
|
PC软件 PC software |
专用测试PC软件一套，USB通讯接口，软件界面同步显示、分析、保存和打印数据！One set Special test PC software. USB communication interface.
software interface synchro |
||
|
电材料 Electrode materials |
钨电或钼电 Tungsten electrode or molybdenum electrode |
||
|
探针间距 The probe spacing |
直线型探针，探针中心间距：4mm；样品要求大于13mm直径Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter |
||
|
标配外（选购）：
Except
standard co |
电脑和打印机1套；2.标准电阻1-5个； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs |
||
配套方案：解决各材料状态 --固态、液态、气态、颗粒状电阻、电阻率、电导率测量
