四探针电阻率测试仪 是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。本文主要介绍四探针电阻率测试仪的测试应用范围。
    对于半导体材料的电阻率，一般采用四探针、三探针和扩展电阻。
    电阻率是反映半导体材料导电性能的重要参数之一。测量电阻率的方法很多，四探针法是一种广泛采用的标准方法。它的优点是设备简单、操作方便，度高，对样品的形状无严格要求。
    常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。
    一般目前的四探针电阻率（电导率）测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。
    根据不同材料特性需要，配有多款测试探头。
    1、高耐磨碳化钨探针探头，测量硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；
    2、球形镀金铜合金探针探头，测量柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻；
    3、配合四端子测试夹具，测量电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻；
    4、专用探头可测试电池片等箔上涂层电阻率/方阻。