ICP等离子体发射光谱仪在运作时，有三个主要过程，下面由江苏天瑞仪器股份有限公司为大家做讲解。
    1、由光源提供能量使样品蒸发、形成气态原子，并进一步使气态原子激发而产生光辐射。
    2、将光源发出的复合光经单色器分解成按波长顺序排列的谱线，形成光谱。
    3、用检测器检测光谱中谱线的波长和强度。