每个仪器都有一个发展过程，那么ICP等离子体发射光谱仪是如何发展的呢？其发展过程是如何？下面内容进行了详细介绍。
    ICP与原有传统发射光谱相结合，早期主要采用多通道式直读光谱仪，它只需要将原有的火花或电弧的光源改变为ICP光源，另外在光电倍增管输出的积分信号的电路略加改变，即可成为一种完整的多通道的ICP等离子体发射光谱仪。
    这种ICP等离子体发射光谱仪，光学系统无移动元件，稳定性好，分析精度高，分析速度快。但体积大，造价高，更换分析谱线的灵活性差。80年代初，随着计算机迅速的发展，运算速度加快及硬盘存储量加大，很多的厂商加快程序控制顺序扫描型ICP等离子体发射光谱仪研制及推出，这种仪器采用计算机程序控制改变平面光栅角度及出口狭缝移动相结合的技术，从而提高仪器的分辨能力及测光的定位精度，使得这种仪器得到广泛的推广应用。它的优点在于分析精度高。而缺点是分析速度减慢。
    90年代初，厂商将半导体检测器电荷耦合器件和电荷注入器件与传统的中阶梯光栅光谱仪相结合，组成一种新式商品化ICP等离子体发射光谱仪，这种仪器具有中阶梯光栅的二维光谱，能同时检测多条析谱线及背景信号的能力，使之有选择分析谱线灵活性和分析速度加快的特点。其缺点是OCD,CID这种新式检测器，使用寿命短，冷却方式工艺复杂，易出现故障，还需进一步改进。