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近光管出现漏油,换了个光管后,所有曲线都有较大的漂移,尤其是其中的Si,含量在50左右,漂移了8个百分点.初步认定是光管漏油后油跟随样盒进入真空室污染了PET晶体,大家有什么看法?

发布时间:2017-12-08浏览次数:1523返回列表

近光管出现漏油,换了个光管后,所有曲线都有较大的漂移,尤其是其中的Si,含量在50左右,漂移了8个百分点.初步认定是光管漏油后油跟随样盒进入真空室污染了PET晶体,大家有什么看法?


(1) 如果认为光管漏油污染了晶体的话,可以做一下角度扫描,看峰值是否偏移,晶体被污染角度值应该会偏移的。
如果晶体没有被污染的话,那么漏进系统的油可能是造成结果漂移的原因了。油的成份有没有检测一下?是不是Si含量很高?上照式的光管漏油是会进入到真空室的。
所以,先确定角度值是否偏移,然后确定一下油的成份,从这两个方面去查查看,应该可以搞清楚你的问题。