ICP等离子体发射光谱仪主要用于微量元素的分析，可分析的元素为大多数的金属和硅、磷、 硫等少量的非金属，共 72 种。广泛地应用于质量控制的元素分析，超微量元素 的检测，尤其是在环保领域的水质监测。还可以对常量元素进行检测，例如组分 的测量中，主要成分的元素测定。 是根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的方法。本文内容主要介绍ICP等离子体发射光谱仪在光源方面的进步。
    一、采用端视技术以提高灵敏度
    近年来商品ICP等离子体发射光谱仪推出轴向(端视)ICP，有较高的灵敏度和较好的检出限。ICP光谱仪中，ICP矩管通常是垂直放置，从侧面观察，称为径向(侧视)ICP。端视ICP(矩管水平放置)的检出限通常要比侧视提高几倍至一个数量级。这是由于侧视只观测到ICP正常分析区的一部分，信号量较小且背景较高。端视可以观测ICP整个正常分析区的光发射信号，增加了可测的信号量，同时光谱背景较低，信背比高。因此，端视的检出限显著高于侧视。端视ICP的主要缺点是线性范围相对较小。而且分析基体复杂样品时基体效应较明显。这是由于在采用水平矩管端视ICP时，等离子矩的尾焰温度低，产生电子、离子复合，从而可能产生自吸和分子光谱所致。为此通常要采用压缩空气“切割”尾焰，或者采用“冷锥技术”(在ICP尾焰区放置一个类似ICP-MS的接口锥的金属锥)，可以有效地消除尾焰的干扰，以提高端视ICP的稳定性及减少端视ICP的基体干扰。
    二、高频发生器的改进
    由于ICP电子密度和激发温度随频率的增加而减低，而光源的背景强度(Ar的连续光谱)则与频率的平方成反比，随频率的提高要降低得多。因此，为了提高高频发生器的稳定性，采用具有很高频率稳定性和输出功率稳定性的固态发生器，等离子体阻抗可自动调节补偿，并由计算机控制工作参数、设定点火程序，可自动点火。因此，的商品仪器均已使用固态发生器，结合对样品的引入系统而采取恒温，提高进样的稳定性，加上光学系统的恒温，热稳定性高，使仪器预热时间大为缩短，大大提高了ICP等离子体发射光谱仪分析法的分析精度和准确度。