仪器在测量中，由于受到诸多因素的影响，会产生一定的误差，以下内容针对EDX镀层测厚仪产生测量误差的原因作分析。

    1、不同铁磁性材料或同一铁磁性材料采用不同的热处理方式和冷加工工艺后，其磁特性均有较大差异，而材料的磁特性差异会直接影响对磁铁或检测线圈的磁作用，为减小或消除磁特性差异产生的影响，应采用磁特性与试样基体相同或相近的金属材料做为基体对仪器校准。

    2、由于磁场在铁磁性基体材料中的分布状态在一定范围内与基体厚度密切相关，当基体厚度达到某临界厚度时，这种影响才能减小或忽略。若试样基体厚度小于临界厚度时，应通过化学方法除去试样的局部覆盖层，利用试样基体对仪器校准。

    3、基体金属曲率的变化将影响测量结果，曲率半径越小，对测量结果的影响越大。当测量曲率较小的试样时，应通过化学方法除去试样的局部覆盖层，利用试样的无膜部分作为基体对仪器校准。

    4、基体金属表面粗糙度将影响测量结果，粗糙度程度增加，对测量结果的影响增大。应对试样基体多个位置进行零点校正，并在试样不同位置上进行多次测量，测量次数至少应增加到5次或以上，以减小影响。

    5、仪器对试样表面的不连续敏感，太靠近试样边缘或内转角处测量时，磁场将会发生变化，测量结果将不可靠。因此，不要在靠近不连续的部位如边缘、孔洞和内转角等处进行测量。

    6、对于较薄的覆盖层，由于受仪器本身测量精度和覆盖层表面粗糙度的影响，较难准确测量覆盖层厚度，尤其是当覆盖层厚度小于5μm的情况；对于较厚的覆盖层，其测量结果相对误差近似为一常数，误差随覆盖层厚度增加而增大。

    7、金属机械加工方向对材料的磁特性会产生较大影响，当使用双式测头或被磨损而不平整的单式测头测量时，测量结果会受到磁性基体金属机械加工（如轧制）方向的影响。因此，在试样上测量时应使测头的方向与在校准时该测头所取方向一致。

    8、金属材料由于磨削等加工方式可能带来剩磁，影响仪器测量，试样测量前应进行消磁处理，并在互为180°的两个方向上进行测量。