ICP光谱仪即电感耦合等离子体光谱仪，ICP发射光谱法是根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的方法。ICP发射光谱仪主要应用于无机元素的定性及定量分析。与其他类型的光谱仪相比，ICP光谱仪具有以下优点：
    1、选择性好。由于光谱的特征性强，所以对于一些化学性质相似的元素的分析具有特别重要的意义。如铌和钽、铣和铪、十几种稀土元素的分析用其他方法都很困难，而对aes来说是毫无困难之举。
    2、检出限低。一般可达0.1～1ug·g－1，值可达10－8～10－9g。用电感耦合等离子体（icp）新光源，检出限可低至 数量级。
    3、多元素同时检出能力。可同时检测一个样品中的多种元素。一个样品一经激发，样品中各元素都各自发射出其特征谱线，可以进行分别检测而同时测定多种元素。
    4、用icp光源时，准确度高，标准曲线的线性范围宽，可达4～6个数量级。可同时测定高、中、低含量的不同元素。因此icp－aes已广泛应用于各个领域之中。
    5、样品消耗少适于整批样品的多组分测定，尤其是定性分析更显示出独特的。
    6、分析速度快，试样多数不需经过化学处理就可分析，且固体、液体试样均可直接分析，同时还可多元素同时测定，若用光电直读光谱仪，则可在几分钟内同时作几十个元素的定量测定。