用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。
天瑞X荧光光谱仪（XRF）由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品，产生X荧光（二次X射线），探测器对X荧光进行检测。
近年来，X荧光光谱分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS有害元素的检测领域应用得多也广泛。那么与传统的原子荧光光度计相比，X射线荧光光谱仪与之有哪些共同点和区别呢？
共同点：二者都是把物质激发后检测其荧光
区别：从大的方面看主要有两点：
一、激发光源不同。原子荧光用的光源很多，如各种激光等，但很少有用X-射线的；而X-射线荧光则是用X-射线作激发光源。
二、用途不同。原子荧光光度计主要用来作定量分析，尤其是金属元素的定量分析；而天瑞X射线荧光光谱仪主要用来作定性分析和结构分析。
此外，二者在仪器构造、使用方法、检测范围、样品制备等方面也都存在差别。