X射线荧光光谱法元素分析仪采用晶体或人工拟晶体根据Bragg定律将不同能量的谱线分开，然后进行测量。波长色散X射线荧光光谱一般采用X射线管作激发源，可分为顺序式(或称单道式或扫描式)、同时式(或称多道式)谱仪、和顺序式与同时式相结合的谱仪三种类型。顺序式通过扫描方法逐个测量元素，因此测量速度通常比同时式慢，适用于科研及多用途的工作。同时式则适用于相对固定组成，对测量速度要求高和批量试样分析,顺序式与同时式相结合的谱仪结合了两者的优点。
    Ｘ射线荧光光谱法是利用原级Ｘ射线光子或其他微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生荧光（次级Ｘ射线）而进行物质成分分析的方法。在成分分析方面，随着电子技术和计算机技术的飞速发展，进入了一个全新的发展阶段，在仪器、分析技术和软件应用方面的进步均十分显著。波长色散型Ｘ射线荧光光谱仪、能量色散型Ｘ射线荧光光谱仪，以及便携式Ｘ射线荧光光谱仪相继推出；各种应用软件以商品形式投入使用；其分析精度、灵敏度和准确度有了进一步提高；分析技术所需标准样品数由几十个降到几个，甚至１个多元标准样品也可获得较好的分析
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    X射线荧光光谱法元素分析仪具有重现性好，测量速度快，灵敏度高的特点。能分析F(9)～U(92)之间所有元素。样品可以是固体、粉末、熔融片，液体等，分析对象适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业样品。无标半定量方法可以对各种形状样品定性分析，并能给出半定量结果，结果准确度对某些样品可以接近定量水平，分析时间短。薄膜分析软件FP-MULT1能作镀层分析，薄膜分析。 测量样品的大尺寸要求为直径51mm,高40mm.