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硅烷纯度分析氦离子气相色谱仪

上海华爱色谱分析技术有限公司
会员指数: 企业认证:

价格:电议

所在地:上海

型号:

更新时间:2011-12-01

浏览次数:3763

公司地址:上海市邯郸路100号54乙

李建浩 (先生)  

产品简介

产品简介 PDHID对硅烷中气体杂质检测限(ppb) H2 O2+Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50

公司简介

上海华爱色谱分析技术有限公司系上海市高新技术企业,是一家集气相色谱仪的研发、生产与销售于一体的高科技企业,公司致力于气相色谱分析整体解决方案的应用研究,是国内第一家专业从事气相色谱分析方法研究和开发的企业。


公司致力于产品的创新,先后获得多项国家专利,并有多个产品荣获上海市高新技术成果转化认证、上海市重点新产品等称号,部分产品已经获得上海市创新资金和国家创新基金立项扶持。公司已经在同行业中率先通过并认真实施了ISO9001:2000国际质量管理体系认证,确立了“诚信为本、质量先行;科学管理、追求卓越”的质量方针。2008年荣获由上海市科学技术协会、上海市工商业联合会和上海市科技创业中心联合组织评选的第二届上海市最具活力科技企业。


公司在复旦大学科技园拥有650平方米的标准化生产基地,具备完善的管理制度以及一流的生产环境,拥有独立的金工车间、装配车间、调试车间、研发中心,年产各型号气相色谱仪达500多台套,产品覆盖了试验室色谱、便携式色谱和在线色谱等整个气相色谱行业的所有产品。新推出的GC-9560系列气相色谱仪实现了全计算机反控技术,采用大屏LCD幕液晶显示,中文菜单的操作模式,设计新颖,操作简便,深受广大色谱用户的青睐。公司推出的GC-9560-HD变压器油专用色谱仪、GC-9560-HS车用汽油分析专用色谱仪、GC-9560-HQ燃气分析专用色谱仪、GC-9560-HG氦离子化气相色谱仪、GC-9560-HT室内环境质量检测专用色谱仪、GC-9760变压器油专用微型色谱仪等十余种产品已成功应用到全国二十多个省市自治区和直辖市的电力监督、石油化工、质量监督检验、环境监测、科研院所、大专院校、卫生防疫、酿造、粮油等诸多行业。


公司秉承“以质量求生存、以信誉求发展”的经营理念,五十余人组成的团队成员均拥有大学学历,凭借在气相色谱分析领域的技术优势和孜孜不倦的追求技术进步的精神,华爱色谱将为您提供最优质的产品和最前沿的技术方案,实现华爱应用创造价值的创业理念。


ISO9001:2000质量管理体系:

上海华爱色谱分析技术有限公司于2008年全面通过ISO9001:2000国际质量管理体系认证,确立了公司的质量方针和质量目标,为了切实履行ISO9001:2000国际质量管理体系的规定,提高公司产品的质量管理水平,公司制定了一套完善的质量管理体系文件,包括《文件控制程序》、《记录控制程序》、《管理评审控制程序》、《培训控制程序》、《与顾客有关的控制程序》、《内部审核控制程序》、《不合格品控制程序》、《改进控制程序》”等八个程序文件,同时做好各个环节的记录,不断提高公司的产品质量和服务水平


公司质量方针:

诚信为本、质量先行;科学管理、追求卓越


 

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产品说明

产品简介
PDHID对硅烷中气体杂质检测限(ppb)
H2 O2+Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn
50 50 50 50 20 20 20 20 50
产品详细信息

电子工业气体:

高纯度硅烷气体杂质组份的检测

一:应用领域:
硅烷在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积等工艺(工序)。
1. 外延(生长)混合气 在半导体工业中,在仔细选择的衬底上选用化学气相淀积的方法,生长一层或多层的材料所用的气体叫做外延气体。常用的硅外延气体有二氯二氢硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,氧化硅膜淀积,氮化硅膜淀积,太阳能电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积等。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。
2. 化学气体淀积(CVD)用混合气 CVD是利用挥发性化合物,通过气相化学反应沉积某种单质或化合物的一种方法,即应用气相化学反应的一种成膜的方法。依据成膜种类,使用的化学气相淀积(CVD)气体也不同。

二:硅烷中微量杂质的分析一直是色谱分析的难点。
目前多数采用的热导检测器由于灵敏度有限,很难测定5ppm以下的杂质;火焰离子化检测器和氧化锆检测器是选择性的检测器,只能分析少数几种气体杂质,均不能很好的满足硅烷气体分析的基本要求。
PDHID检测器(脉冲放电氦离子检测器)是一种灵敏度极高的通用型检测器,对几乎所有无机和有机化合物均有很高的响应,特别适合气体的分析,是能够检测至ng/g(ppb)级的检测器。


本页产品地址:http://www.yi7.com/sell/show-243.html
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