1.撤离立即受影响区域。

2.硅烷是一种可自燃气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的黄色的无定型二氧化硅烟雾。

3.不受控制的泄漏需要由经过培训的人员按照事先拟好的计划进行处理。硅烷的泄漏一般都会引起火灾。

4.如果硅烷泄放时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会危险，不要靠近。

5.如有可能切断泄漏的气源，隔离泄漏的钢瓶。如果不能阻止泄漏(或不能接近阀门)，让钢瓶在原地泄放或将钢瓶移到一个安全的地方泄放。

6.若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏，请与供商联系。

7.若泄漏来自用户系统，关掉钢瓶阀门，在修复前一定要泄压并用惰性气体吹扫。

8.所有人员都要有防护，泄漏区要受到控制。

9.所有应急反应人员都要有适当的防护，以避免暴露于硅烷中。监测周围环境中的硅烷含量。只有硅烷含量在允许范围内时(见第二部分)，人员才能在没有自给式呼吸器的情况下进入。进入前，可燃性气体的浓度一定要低于0.14%，也就是硅烷LEL的10%。进入前要争取关闭气体的总阀门。