1.系统温度不可低于－170℉ (－112℃)，否则可能会吸入空气形成爆炸性混合物。

2.不要让硅烷与重金属卤化物或卤素接触，硅烷与它们剧烈反应。应仔细吹扫系统，以防残留有脱脂剂，其中所含的卤素或其他含氯的碳氢化合物。

3.用二至三倍的工作压力对系统进行加压检漏，使用氦气。此外，还应建立和执行常规的检漏制度。

4.系统检漏或因其他原因打开之后，应使用抽真空或惰性气体吹扫的方法将系统中的空气吹扫干净。在打开任何装有硅烷的系统之前必须用惰性气体吹扫系统。如果系统中的任何部分有死角或可能残留硅烷的地方，必须抽真空循环吹扫。

5.应将硅烷排放到一个处理它的地方，是将它燃烧掉。即使硅烷浓度较低也十分危险，不能暴露在空气中。硅烷在被惰性气体稀释成不可燃的气体后也可以排空。

6.应按照美国压缩气体协会的要求储存和使用压缩气体。当地可能对储存和使用气体要求有的设备规定。

硅烷预防措施

工程控制：在使用和储藏该产品的区域或其邻近区域应安装硅烷探测器。提供充足的自然或防爆通风以防止气体浓度的增加，确保硅烷没有达到1.4%燃烧下限。如适用，安装自动监视设备来探测爆炸性混合空气和氧含量。

控制参数：

八小时日时量平均容许浓度(TLV)：5ppm

短时间时量平均容许浓度(STEL)：－

高容许浓度：－

生物指针：－

个人防护设备：

呼吸防护：

1.能引起快速窒息的高浓度也在其燃烧限范围内，不能进入。

2.紧急情况时需使用逃生用自给式呼吸器。

眼睛防护：

1.佩戴防溅眼镜或有侧防护的安全眼镜和面罩。

2.确保使用该产品的附近区域有安全淋浴及洗眼器。

皮肤及身体防护：当操作钢瓶时使用工作手套，在紧急情况时使用防火手套和防火衣。处理泄漏时戴两副手套。

其其它防护设备：工作时使用恰当的身体防护用品，推荐使用防静电衣，操作钢瓶时建议穿安全鞋。