溅射薄膜压力传感器

溅射薄膜压力传感器
PTG200溅射薄膜压力传感器其利用离子束溅射薄膜技术结合先进的微电子工艺技术制造而成的不锈钢弹性膜片。离子束溅射在电阻合金材料上，在膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变电阻，膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出相应电信号。薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和紧固件, 可长期在-40～125℃工作温度下稳定工作。

应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。

主要技术参数：
被测介质： 气体,液体及蒸气
压力类型： 表压、绝压
量程： 0 - 0.6～120 Mpa间任意可选
输出 ：1.2～1.8 mv/V
综合精度： ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS
非线性： 0.06～0.1%FS
迟滞： 0.02～0.05%FS
重复性： 0.03～0.06%FS
零点温漂： ±0.01%FS/℃
灵敏度温漂： ±0.02%FS/℃
供电： 5～15V DC
输出阻抗： 1.5～3KΩ
绝缘电阻： ≥1000 MΩ/100VDC
工作温度： －40～＋85\125\150℃可选
过载能力： 150%FS
电气连接： 高温引出线
压力连接： M10×1双"O"圈密封或用户
接液材料 膜片：17-4PH过程连接件1Cr18Ni9Ti
相对湿度： 0～95% RH
密封等级 ：IP65