Transpwctor XPR3 气体分析系统

TRANSPECTOR XPR3的特点

·新设计的离子源使污染的产生zui小化，从而延长使用寿命 和提供更清楚的讯号。

·新型EM在PVD工艺压强下工作，提供更快速、清晰的数据收集和免除FC至EM的转换，简化数据的解译过程。

·新型加长的四极杆场可提高低质量范围的过滤能力，提高质谱仪分辨同位素的灵敏度，从而改善氢的监测灵敏度。

    Transpwctor XPR3是新一代的高压强四极场工艺气体分析仪。它研发于先前INFICON系统成功的基础上，在物理相汽沉积(PVD)检测中具有无比高的灵敏度、精确度和灵活性。一系列技术上的突破使轻便型Transpwctor XPR3的工作范围从20耗乇至超高真空，无需大型负责的压强转换设备。

TRANSPECTOR XPR3的应用

·PVD工艺模块

·预清洗模块

·Non-cluter PVD设备

·Clamped的除气模块