产品简介
薄膜测量领域的#1品牌PARTS利用垂直偏角度双光源实现了更简便、更的薄膜测量在已有分析能力强大的反射率-穿透率同时测量系统
公司简介
岱美有限公司(下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的国际性高科技设备分销商,主要为半导体、MEMs、光通讯、数据存储、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。
自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国大陆、香港、台湾、新加坡、泰国、马来西亚、日本及菲律宾等地区。
主要产品包括有:晶圆键合设备、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、压力计、流量计、等离子电源、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、电容式位移传感器、振动样品磁强计 (VSM)、粗糙度检测仪、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、平面/球面大口径动态激光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管生长设备等。
岱美中国拥有八十多名训练有素的工程师,能够为各地区用户作出快捷、可靠的技术支持和维修服务;为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求,岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练,务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。
总部位于中国香港的岱美分别在新加坡、泰国、台湾、马来西亚、日本、菲律宾及中国大陆(上海、东莞及北京)设立了分公司及办事处,以带给客户更快捷更全面的销售及维修服务。
我们真诚希望和业界的用户互相合作,共同发展!!
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产品说明
薄膜测量领域的#1品牌
PARTS利用垂直&偏角度双光源实现了更简便、更精确的薄膜测量
在已有分析能力强大的反射率-穿透率同时测量系统平台上,我们增加了散射率、临界入射角反射率的计算,从此无需建模即可对单层膜膜厚,光学常数n、k值进行测量!!多层膜的全面分析同样只需轻击鼠标即可轻松完成!
分析优势
PARTS符合行业标准,极小的占地空间、通用的USB接口,确保设备安装简单便捷。整机无任何运动件,除钨卤素灯外无需其他维护,确保设备高度可靠。全面、可靠的集成
得益于计算垂直(0°)入射和角度(70°)入射的反射率和穿透率,PARTS极大了提高了对高级薄膜应用场合(如:太阳能、OLEDs等行业)的分析能力。尤其,通过计算变量R0,R70,TO,我们可以简单便捷的实现膜层厚度,n、k值的测量。而且,由于增加了对散射率计算,使膜层的粗糙度测量从其它分析上分离出来,从而让我们可以实现膜层表面粗糙度的单独测量。
PARTS系列配有多种波长的产品以满足不同客户的需求,具体规格如下:
Model |
Thickness Range |
*Wavelength Range |
PARTS |
5nm-70µm |
380-1050nm |
PARTS-UV |
1nm-70µm |
200-1100nm |
PARTS-EXR |
5nm-70µm |
380-1700nm |
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*以上数值会因薄膜堆叠层数变化而有所不同。
零配件清单如下:
- 光谱仪主机
- FILMeasure 6.0 软件光碟
- BK-7参考片
- Al2O3参考片
- Si参考片
- Anti-reflector
- 拭镜纸
优势及售后服务:
- 拥有130多种材料的数据库
- 免费软件更新
- 工作日应用工程师24小时的技术支持
- 在线“手把手”支持
- 支持硬件升级
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