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MXGH1200-PECVD型 等离子增强化学气相沉积系统

河南泰洪升仪器设备有限公司
会员指数: 企业认证:         

价格:电议

所在地:河南 郑州市

型号:MXGH1200-PECVD型

更新时间:2018-06-26

浏览次数:1596

公司地址:河南省郑州市建设西路

刘经理(先生) 经理 

产品简介

MXGH1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统

公司简介

河南泰洪升仪器设备有限公司立足于基础实验仪器设备;生物化工仪器;现代制药设备以及科教仪器的研究开发,生产和销售,重点服务于生命科学,医药工程,化工企业,科研院所,食品环保,精细化工,科教实验。河南泰洪升仪器设备有限公司坚信卓越不凡的产品质量和尽善尽美的服务态度为企业生存之根本,所以,公司特别借鉴现代化科学管理之方案,引入现代企业管理理念,建造一流的企业团队,本着踏实经营,做事,欲先做人的观念,力求为您提供超越杰出的产品设备。本公司主营:双层玻璃反应釜,单层玻璃反应釜,三层玻璃反应釜,旋转蒸发器,循环水多用真空泵真空抽滤器等
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产品说明

MXGH1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统
产品简介:此款设备配有Plasma实现等离子增强,滑轨式设计在操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的管式炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。并可选配气氛微调装置,可准确的控制反应腔体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常简单实用,工艺重复性好,对于石墨烯生长工艺非常合适,也同样适用于要求快速升降温的CVD实验。

主要功能和特点:

MXGH1200-PECVD型等离子增强化学气相沉积系统

1、利用辉光放电产生等离子体电子激活气相;

2、提高了气相反应的沉积速率、成膜质量;

3、可通过调整射频电源频率来控制沉积速率;

4、能广泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生长。

 

滑轨管式炉技术参数

 

 

 


石英管尺寸

L1400mm  Φ(60、80、100)

加热元件

掺钼铁铬铝合金电阻丝

测温元件

K型热电偶

加热区长度

410mm 

恒温区长度

200mm

工作温度

≤1100℃

控温模式

模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度

±1℃

升温速率

≤20℃/min

电功率

AC220V/50HZ/3KW

质量供气系统技术参数

 

 

 

 


外形尺寸

600x600x600mm

标准量程

50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar、N2);

压力表测量范围

-0.1Mpa~0.15Mpa

限压力

3MPa

针阀

316不锈钢

截止阀

Φ6mm 316不锈钢针阀

电功率

AC220V/50HZ/20W

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

准确度

±1.5%

线性

±0.5~1.5%

重复精度

±0.2%

接口

Φ6,1/4''

真空系统技术参数

 

 

 

 


外型尺寸

600×600×600mm

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

400W

抽气速率

4L\s

限真空

4X10-2Pa

实验真空度

1.0x10-1Pa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

转速

1450rpm

射频电源


信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

3W-300W   5W-500W可选

zui大反射功率

200W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷


本页产品地址:http://www.yi7.com/sell/show-7078053.html
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