MEMS质量流量计，MF4000系列气体质量流量计
注： MF4000系列带数显款；FS4000系列不带数显款
产品特点:
- 专为管径3mm和8mm的气管中的低压气体流量测量而设计。
- 支持多种连接方式，易于安装与使用。
- 灵敏度高，有小的始动流量。
- 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的计量。
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高。
- 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的 模拟电压。
- 零点稳定度高。
- 全量程高稳定性、高度和优良的重复性。
- 低功耗、低压损。
- 响应速度快。
FS4008-50-R-CV-A气体流量传感器(Siargo
产品简介：
FS400系列气体流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这系列流量计由广州汉川仪器仪表有限公司采用的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
FS4003流量传感器，管道内径为3mm，测量范围zui大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。
FS4008流量传感器，管道内径为8mm，测量范围zui大到50SLPM；适用于麻醉设备、洁净气体检测，如：空气采样机，气体分析仪等
FS4008-50-R-CV-A气体流量传感器(Siargo
机械尺寸:
产品接线方式：
产品选型：
技术参数：
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性能参数 |
FS4003 |
FS4008 |
单位 |
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通 径 |
3 |
8 |
mm |
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zui大流量 |
2, 3, 4, 5 |
10, 20, 30, 40, 50 |
SLPM |
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量程比 |
100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重复性 |
0.75 |
% |
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零点输出飘移 |
±30 |
mV |
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输出飘移 |
0.12 |
%/oC |
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响应时间 |
100 |
ms |
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工作电源 |
8~18Vdc,100mA |
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输出方式 |
线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc |
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zui大流量压损 |
100 |
600 |
pa |
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zui大工作压力 |
0.5 |
MPa |
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工作温度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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存储温度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作湿度 |
<95%RH（无结冰、无凝露） |
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机械接口 |
BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接头 |
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校准方式 |
空气（或其他气体），20oC，101.325kPa |
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重量 |
57（带R1/4,BSPT1/4接口） |
g
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