自动椭圆偏振测厚仪 偏振测厚仪
型号:LT/SGC-1A
仪器参数
测量范围1nm-300nm 测量Z小值≤1nm 入射角30°- 90°误差≤0.1° 偏振器方位角读数范围0°- 180° 度盘刻度每格2度 游标Z小读数0.05° 光学中心高度152 工作台直径φ70 外形尺寸730*230*290 主机重量20kg