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自动椭圆偏振测厚仪 偏振测厚仪

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  • 更新日期:2019-09-03 15:45
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详细介绍

自动椭圆偏振测厚仪  偏振测厚仪  

型号:LT/SGC-1A

仪器参数

测量范围1nm-300nm
测量Z小值≤1nm
入射角30°- 90°误差≤0.1°
偏振器方位角读数范围0°- 180°
度盘刻度每格2度
游标Z小读数0.05°
光学中心高度152
工作台直径φ70
外形尺寸730*230*290
主机重量20kg

 
 
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