L6514-64J/RZQ 微控扩散系统

L6514-64J/RZQ全功能微控扩散系统产品简介：该系统式生产半导体器件和大规模集成电路的重要工艺设备,广泛应用于半导体器件的扩散

    青岛电子研究所有限责任公司是经市政府批准，改制组建的集科研、生产、经营于一体的专业从事电子技术、计算机技术、电子封装技术、半导体及工业热处理专用设备技术、IC卡技术的研究与开发的科技型企业，是市政府命名的高新技术企业、软件企业，具有集成电路卡及集成电路卡读写机《全国工业产品生产许可证》和国家住建部《建设事业集成电路(IC)卡产品检测》证书，并通过了ISO9001：2008国际质量体系认证。
    公司立足“专、精、特、新”，致力于电子封装技术、专用设备技术、 IC卡技术、应用软件和机电一体化等高新技术产品开发应用，先后荣获20多项国家、省市级成果奖，取得了显著的社会效益和经济效益。
    主要产品：全自动平行缝焊机；平行封焊机；铍青铜真空时效炉；IC卡设备及其应用系统；半导体专用设备；工业热处理专用设备。

L6514-64J/RZQ全功能微控扩散系统
 产品简介：
该系统式生产半导体器件和大规模集成电路的重要工艺设备,广泛应用于半导体器件的扩散、氧化、退火、烧结等工艺，也可用于磁性材料的烧结及机械行业的淬火、冶金行业的烧结。
控温采用新研制的电脑控制系统，产品质量可靠，控制稳定，操作简单，维修方便。
 产品特点
工艺温度段数：1—14段，可选段运行
单段时间范围：1—1080min/斜变段 1—9999min/恒温段
三个温度测控回路修正温度测量值
三个温度测控点修正温度测量值
PID参数，温度修正量可在线修改
温度设定单位：℃  分辨率：0.1℃
工艺段时间设定单位：min，分辨率1min
各类工艺数据断电后长期保存
工艺气体流量，推拉舟运动状态有微机实行闭环控制
中文显示各类提示信息

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