产品简介
北京小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于
公司简介
北京富瑞恒创科技有限公司，成立于2009年8月，成立至今已经和国内多家知名教育机构，全国各地多家企业有过长期的合作关系，专注于新型材料试验机的研究，长期聘请清华大学精密仪器系的专家为技术顾问，并成立新型材料检测仪器研发中心。
北京富瑞恒创科技有限公司是集专业设计、开发、生产与销售于一体的高新技术股份制企业，专注于新型材料试验机的研制、材料检测技术的提高及材料试验方法的创新，是国内领先的材料试验检测仪器的生产企业。
富瑞恒创仪器研发部拥有行业内最优秀的、权威的研发力量及技术团队，长期聘请清华大学精密仪器系的专家为技术顾问，并成立新型材料检测仪器研发中心，是对推动国内材料检测技术的提高和试验方法创新的重要技术保证力量。富瑞恒创同时还与中科院自动化研究所、国防科技大学等全国数十所科研院所开展紧密合作，并为中国国防军工企业及航天科技企业和重点实验室定制生产了大量标准和非标准的专用测试仪器。
富瑞恒创以精美的产品、精湛的技术、精良的品质、精心的服务赢得了广大用户和市场份额，产品畅销全国，拥有一大批国内外著名科研院所及企业用户，是国内试验机行业发展速度最快的企业之一。
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产品说明
北京小流量气体质量流量传感器
型号：TL/FS4001
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北京小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。独特的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
产品特点：
- 传感器灵敏度高,有小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
- 感器的计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高度和优良的重复性
- 低功耗
- 低压损
- 响应时间快
北京小流量气体质量流量传感器主要参数：
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性能参数
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FS4001
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单位
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通 径
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1.0
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1.8
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mm
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zui大流量
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30, 100, 200
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500, 1000
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SCCM
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量程比
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≥100:1
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精 度
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±(1.5+0.2FS)
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%
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重复性
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0.25
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%读数
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零点输出飘移
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±30
|
mV
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输出飘移
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±0.12
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%/oC
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响应时间
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131
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mses
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工作电源
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8~18Vdc,50mA
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输出方式
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线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc
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zui大流量压损
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350
|
300
|
pa
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zui大工作压力
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0.5
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MPa
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工作温度
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-10 ~ +55
|
oC
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存储温度
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-20 ~ +65
|
oC
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工作湿度
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<95%RH（无结冰、无凝露）
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机械接口
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可拆式软管接头
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校准方式
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空气（或其他气体），20oC，101.325kPa
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重量
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15
|
g
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