MPR E-Scan TMAH显影液在线浓度仪

四甲基氢氧化铵(TMAH)，在电子行业中广泛用作TFT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程超纯清洗剂，同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展，PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序—显影，直接影响着线路品质及阻焊的品质，显影的品质要求不能有显影不净，不能有显影过度，不能有掉线和绿油脱落等，显影露铜点50% ~ 60%(一半显影段)。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。

描述 无色透明溶液 分子式 (CH3)4NOH 分子量 91.15 形态： 液体 沸点 oC： 100.0 凝固点oC： <-25.0 粘性25 oC： cst 2.8 比重 @ 60 oF： 1.022 闪点 oF： >200 pH： >13

根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液调配稀释到目标浓度2.38%，需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量，已达到配置目标浓度显影液的目的。目前常用采样后分析系统测量TMAH的浓度，测量过程大概需要20分钟时间，该方式不具备实时性，过程管道的浓度变化无法及时监测到，导致调控滞后。为了提高生产量，显影液的配对效率需要提高，缩短配比的时间，需要在线实时对TMAH的浓度进行监控，完善工艺控制要求。采用临界角全反射原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求，且测量精度高。

MPRE-Scan 2.38TMAH在线浓度仪是根据临界角测量原理设计的一种连续在线监测仪，由于仪表的传感器检测元件与被测介质直接接触，且没有化效应，故该仪表可广泛应用于半导体、TFT-LCD、化工、环保等工业液流中，连续在线测量TMAH、TMACL、H2O2、NAOH等强腐蚀性介质浓度，拥有一般浓度仪表无可比拟的优点。

2.38%TMAH在线浓度仪技术

TFT-LCD显示屏带超亮背光便于阅读。

多种信号输出4-20mA标准信号、RS485通讯接口（可选）；

两组两级单稳型继电器可以控制外围（如风机、声光报警器）动作

多级校准——，高稳定性，高灵敏度；

友好界面--中英文菜单可选，方便操作；

一键恢复功能，使您无须担心操作失误。

原装进口传感器；

具有自动温度补偿、零点校正系统，自诊断功能；

多层腐蚀工艺处理，适用于各种工况；

两级声光报警，可自行设置高低报警点

多级密码保护功能，防止用户误操作。