HG216-MG60 1200度Φ60滑轨管式炉

该设备主要用于CVD法制备石墨烯而研制的专用炉，也同样适用于要求升降温速度较快的CVD实验。炉体采用开启结构，炉底安装有直线滑轨，当石墨烯生长结束后，左右灵活拉动炉体，能够保证有足够的空间使实验样品移出炉体，实验快速降温的要求。1200度Φ60滑轨管式炉

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主要内容：1200度Φ60滑轨管式炉

该设备主要用于CVD法制备石墨烯而研制的专用炉，也同样适用于要求升降温速度较快的CVD实验。炉体采用开启结构，炉底安装有直线滑轨，当石墨烯生长结束后，左右灵活拉动炉体，能够保证有足够的空间使实验样品移出炉体，实验快速降温的要求。

 

技术参数：1200度Φ60滑轨管式炉

工作电源：单相 220V 50/60Hz 3Kw

 

标准配件

坩埚钳1把、刚玉舟1只、炉钩1把、管堵2只、石英管1根、304法兰1套、密封圈4只、浮子流量计1只、耐高温手套1双、产品说明书1份、仪表说明书1份、保修证书1份。

 

可选配件

1、二三四路浮子1200度Φ60滑轨管式炉或质子流量供气系统。

2、DZK10-1低真空系统或GZK10-3高真空系统。

3、300W或500W等离子射频电源。

4、可选配移动炉架，将管式炉放置在炉架上。

 

注意事项

1、为了不影响设备正常使用寿命，请不要过快升降温。

2、请不要往管内通入超过0.02MPa的气体压力。

3、本设备使用一段时间后，炉膛会出现微小裂纹，属于正常现象，不会影响使用，可向业务人员索取氧化铝涂层修补剂。

4、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全。

5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

6、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

7、石英管的长时间使用温度≤1100℃

8、对于只对样品加热的实验（不抽真空不通气体），不建议使用时关闭炉管法的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热，您必须时刻关注压力表的指数（气压会随温度升降而变化），若压力表指数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，飞出等）。

 

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