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STACIS ® III TMC 主动隔振系统

森泉(上海)光电科技有限公司

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企业认证：

价格：电议

所在地：上海

型号：STACIS ® III

更新时间：2024-05-17

浏览次数：869

公司地址：上海市杨浦区国定路335号2号楼1902室

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产品简介

TMC 主动隔振系统STACIS ® III 是一种灵活的主动隔振系统。STACIS 采用的惯性振动传感器、复杂的控制算法和压电执行器，通过连续测量地板活动，然后扩展和收缩压电执行器以滤除地板运动，实时 xiao, 除振动。

公司简介

森泉光电有限公司代理和经销的产品种类十分丰富，涉及到激光、光学、光电子、光通讯、微机电、自动化、物理、化学、电子、生物、农业等等领域，可为科研及企业用户提供光学实验及检测的全套解决方案，并提供全面的售前、售中、售后支持与服务。

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产品说明

TMC 主动隔振系统
STACIS ® III 是一种灵活的主动隔振系统。STACIS 采用惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电执行器，通过连续测量地板活动，然后扩展和收缩压电执行器以滤除地板运动，实时 xiao 除振动。
STACIS 一开始的设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备，现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施, 和材料研究。
STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器 DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后面板上的 U,S,B 串行端口，这种新的 gao 级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在 quan 球有数百个成功安装案例，是对振动敏感的仪器的理想隔振系统。

TMC 主动隔振系统
STACIS III 的优势
STACIS 的刚度是空气隔振器的数百倍，不受空气隔振系统的任何限制。没有“软”悬挂，与主动空气系统不同，STACIS 可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方，两个系统都经过充分优化。
du 特的串行设计和专有的高压压电技术
产生了从 0.6 Hz 到 150 Hz 的宽主动带宽和 wu 与 lun 比的真正主动隔振，从 2 Hz 开始减振 90%。

表现

4500 lbs (2045 kg) you 效载荷在 VC-C（500 μin./s，12.5 μm/s RMS）下通过模拟振动测试

TMC 主动隔振系统
规格
性能规格

活动自由度	6
活动带宽	0.6 赫兹 - 150 赫兹
无源固有频率	18 Hz 垂直和水平
tyou 效有源谐振频率	0.5赫兹
1 Hz 时的隔离	40% - 70%
≥2 Hz 时的隔离	≥90%
10 lb (4.5 kg) 阶跃输入后的稳定时间（10:1 减少）	0.3 秒
内部噪音	<0.1 纳米 RMS
每个隔离器的工作负载范围	低容量：400-1100 磅（182-500 千克）中容量：900-2100 磅（410-955 千克）高容量：1900-4500 磅（864-2045 千克）
刚度（1000 磅/454 千克质量，中等容量隔离器）	40,000 磅/英寸。(73 x 10 5牛/米)
从隔离器很大的 4 英寸（102 毫米）处发射的磁场	<0.02 μG 宽带 RMS

隔离器设计、尺寸以及环境和公用设施要求

环境与 an 全	符合 CE 和 RoHS
主动隔离元件	很小的容量为 3300 lb. (1500 kg) 的压电执行器接收来自高压放大器的信号，输出电压高达 800 VDC。垂直致动器支持隔离的 you 效载荷。
无源隔离元件	单一刚性各向同性弹性体（无需压缩空气供应）
振动传感器元件	向下的地震检波器型惯性传感器测量隔离器下方的地面振动并提供与振动运动速度成正比的电压
主动反馈控制回路	在支撑隔离表面的弹簧下方测量、处理和衰减地板振动
隔离器尺寸 (WxDxH)	11.75 x 12.5 x 10.8 英寸 300 x 320 x 275 毫米
隔离器重量	75 磅（34 公斤）
工作温度	50° - 90° F 10° - 32° C
储存温度	-40° - 130° F -40° - 55° C
湿度	80% 很大的值在 68 华氏度（20 摄氏度），很大的露点：18 摄氏度
系统电源要求	100、120、230、240 伏交流电 50/60 赫兹交流电；<600 W 符合 CE 标准
地板位移	<480 微英寸。(12 μm) 低于 10 Hz
每个系统的隔离器数量	至少 3 个
选项	层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震装置、升降机罩

DC-2020 控制器规格

尺寸（宽x深x高）	19 x 8.5 x 1.75 英寸 483 x 216 x 45 毫米
重量	6.3 磅（2.9 公斤）
处理器	150/75 MHz 双核
采样率	10 赫兹
模拟输出	16通道
模拟输入	16通道
状态灯	单灯
前面板端口	1x 串行 U,S,B 2.0 1x 串行 Micro-U,S,B 1x 以太网 RJ-45 2x BNC
后面板端口	1x 串行 U,S,B 2.0 1x 以太网 RJ-45 1x RS-232 DB-9 传统串行用于传统 STACIS 2100 隔离器
用户界面	前面板 LCD 显示 chao 级终端扩展 GUI上的字符菜单Microsoft Windows Embedded Ethernet GUI

森泉为您的科研事业添砖加瓦：

激光控制：激光电流源、激光器温控器、激光器控制、伺服设备与系统等等

探测器：光电探测器、单光子计数器、单光子探测器、CCD、光谱分析系统等等

定位与加工：纳米定位系统、微纳运动系统、多维位移台、旋转台、微型操作器等等

光源：半导体激光器、固体激光器、单频激光器、单纵模激光器、窄线宽激光器、光通讯波段激光器、CO2激光器、中红外激光器、染料激光器、飞秒超快激光器等等

光机械件：用于光路系统搭建的 gao 品 zhi 无应力光机械件，如光学调整架、镜架、支撑杆、固定底座等等

光学平台：主动隔振平台、气浮隔振台、实验桌、刚性工作台、面包板、隔振、隔磁、隔声综合解决方案等等

光学元件：各类晶体、光纤、偏转镜、反射镜、透射镜、半透半反镜、滤光片、衰减片、玻片等等

染料：激光染料、荧光染料、光致变色染料、光致发光染料、吸收染料等等

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