非接触电阻率测试仪

RTM660C无接触式硅片厚度电阻率测试系统 RTM660C采用的厚度及电阻率探头，配以强大的软件控制，可以用多种方式进行无接触式测

北京羲和阳光科技发展有限公司是一家新能源科技公司，致力于太阳能光伏产业。提供光伏生产所用硅料的分选、检验、检测设备及相关设备配件，帮助您识别高质量的硅料，减少采购或销售的风险。
        
    我公司经营的主要产品有：硅料分选测试仪（电阻率，PN型识别）、电阻测试仪、排重掺测试仪、少子寿命测试仪、测厚仪、碳氧磷硼含量测试仪，表面线痕测试仪，光谱椭偏仪，透过率测试仪、相关产品配件，以及镓掺杂剂、母合金掺杂剂，异丙醇，双氧水等耗材。

    羲和的名称来源于中国的太阳神羲和女神，作为太阳能光伏产业的一份子，为提高太阳能电池生产过程的可控性，最大限度的减少过程风险，羲和科技在不懈追求、积极探索，我们深感肩头的重任，我们会倍加努力，持之以恒，给您提供最优质的产品、最优惠的价格和最满意的服务。

RTM660C无接触式硅片厚度电阻率测试系统

RTM660C采用高精度的厚度及电阻率探头，配以强大的软件控制，可以用多种方式进行无接触式测量，使得测试过程变得十分高效。系统采用一体化设计，结构紧凑，安装方便。使用者在操作平台上转动硅片，测试数据可即时显示，并可对测试数据进行分析处理。高精度电容式厚度探头和电涡流式电阻率探头，保证测试结果精确且稳定。RTM660C可广泛使用于研究、生产及质检等场所，友好的人机交互界面，使用相当便捷。


技术参数
■ 硅片规格：
方片125x125mm、156x156mm
圆片3″、4″、5″、6″、8″
■ 测试功能
厚度：单点及多点厚度
TTV：总厚度偏差
体电阻率：单点及多点体电阻率
■ 测试指标
厚度范围：150～1000μm
测量误差：≤±1.0μm
重复性：≤±0.20μm
TTV范围：0.00μm～200.00μm
测量误差：≤±0.50μm
重复性：≤±0.20μm
体电阻率范围：0.1Ω.cm~30.0Ω.cm
测量误差：≤±3%
重复性：≤1.5%
■ 设备尺寸/重量：470mm(L)x420mm(W)x600mm(H)/20Kg
■ 测试环境要求：温度范围15～27℃
■ 湿度范围：35%～85%
■ 电源要求：220VAC,50Hz
■ 控制器：高性能主机
系统演示

系统操作演示


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