TFVT-1000型薄膜变温电阻测试仪
Thin film variable temperature resistance tester
关键词：薄膜电阻，电阻率，电导率
TFVT-1000型薄膜变温电阻测试仪一款兼具薄膜和块体（可扩展）的测试各种薄膜材料在高温、真空、气氛条件下的电阻和电阻率，可以用来分析样品的电阻率随温度变化曲线、电阻温阻系数、样品相变温度点。而且可广泛用于光电、铁电、热电等各种导电材料的电阻率测量。是目前科研和生产的重要材料测量设备。
一、产品特点
1、采用进口恒流源与电压表，确保测试的稳定性和性。
2、采用自适应PID控温。
3、自动检测样品接触特征曲线。
4、可在真空或气氛（惰性气体）环境下测量电阻随温度变化。
5、可实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能
二、主要技术参数：
1、温度范围：-190℃~1000℃（自动控温，可连续采集）
2、电阻测量范围：1μΩ-100MΩ,准确度:±0.1%FS
3、温度测量精度：±0.5℃
4、恒流源：0.05μA~1A，准确度：±1%FS（FS为满量程值）
5、电压：1μV~300V，准确度：±1%FS（FS为满量程值）
6、真空度：≤50Pa
7、样品尺寸：长 x 宽:(2~5)x(2~5)，单位mm,厚度:10nm-3mm
8、测试软件：可实现常温、变温、恒温条件的I-V、R-T、R-t等测量功能。
