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DH-RM-1 射频磁控溅射镀膜装置

北京恒奥德仪器仪表有限公司

会员指数：

企业认证：

价格：电议

所在地：北京

型号：DH-RM-1

手机：15010245973

电话：15010245973同微信/010-51658042/

更新时间：2024-03-07

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公司地址：北京市海淀区

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产品简介

射频磁控溅射镀膜装置型号：DH-RM-1射频磁控溅射镀膜装置主要用途：本设备主要用于大专院校研究和开发纳米单层膜；如各种硬

公司简介

公司主营不锈钢采水器，罐底焊缝真空检测盒，八级空气微生物采样器，涂层测厚仪，土壤粉碎机，腐蚀率仪，凝固点测试仪，水质检测仪，涂层测厚仪，涂层测厚仪，土壤粉碎机，数显式温度计，气体采样泵，水质检测仪，PM2.5测试仪，牛奶体细胞检测仪，氦气浓度检测仪，土壤水分电导率测试仪，场强仪，毛细吸水时间测定仪，氧化还原电位计测振仪，一氧化碳二氧化碳检测仪，黏泥含量测试仪，自动电位滴定仪，便携式测温仪，干簧管测试仪，电导率仪，水质分析仪，土壤氧化还原电位计，数字测温仪，便携式总磷测试仪，腐蚀率仪，余氯检测仪，颗粒强度测试仪，高斯计，自动涂膜机，雨量计，四合一气体分析仪，溶解氧仪，薄层铺板器，温度记录仪，动觉方位仪，菌落计数器，雨量计，毛细吸水时间测定仪，污泥比组测试仪，大气采样器，流速仪，体积电阻率测试仪，照度计，涂布机，老化仪。

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产品说明

射频磁控溅射镀膜装置 型号：DH-RM-1

射频磁控溅射镀膜装置 主要用途：本设备主要用于大专院校研究和开发纳米单层膜；如各种硬质膜、金属膜；也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以行直接溅射，亦可以实现反应溅射。

射频磁控溅射镀膜装置 主要特点：结构简捷、操作简便，真空度维护，安。

镀膜机应安装在干净无尘埃、无腐蚀性气体的室内，并具备清洁水源、及220V的稳定电压等条件的地方。

1、地面的基本水平度要经过调整，不得低不平；

2、环境温度：10℃～30℃；

3、相对湿度：不大于75%；

4、耗水量（水温度≤25℃，2.5Kg≥水压≥1.5Kg）：约0.2T/h；

5、水质要求：

矽酸硬度<6度，PH值：7－8，电导率：200us/cm,沉积率：<200mg/L。

6、电压： 220V，50H_Z，

电压波动范围： 198～231V；

频率波动范围：49～51Hz;

7、水压：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、充入气体纯度99.9%或以上;

9、镀膜用耗材纯度99.9%或以上。

北京恒奥德仪器仪表有限公司

联系方式：/57696
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: 凡经理
地址 : 北京市海淀区阜城路42号院中裕商务花园6C-211
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QQ : 1968156761 1169121880 236261341

设备规格参数

1.1、溅射处理室：

1、钟罩：内径225mm×度260mm；

2、试样台：直径80mm（zui大）；

3、试样旋转：静止；

4、挡板：手动；

5、衬底加热器：不锈钢加热器（DC24V）；

6、衬底温度范围：室温～200℃；

7、衬底可调距离：20mm～60mm；

8、溅射室限真空：0.5Pa

1.2、真空系统：

1、抽气系统：由机械泵组成的真空系统；抽气速率：4升/S