wi92022 质量流量控制器

质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光

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质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、 石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 技术参数： 满量程流量范围（N2） 5SCCM～10SLM 控制范围 2～100％F.S. 阀类型（及阀初始状态） 电磁调节阀（常闭） 准确度 ±1.5％F.S. 线性 ±0.5～1.5％F.S. 重复精度 ±0.2％F.S. 响应时间 ≤7sec 工作温度范围 5～45℃ 工作压差 0.1～0.5MPa 耐压 3MPa 漏气率 1×10-8atm.cc/sec He 密封材料 氟橡胶（或氯丁橡胶） 电插头形式 DB15 pin(Female) 接头选择 VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose 双卡套 1/4”或φ6、φ3 重量 1.1Kg 主要特点： ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7A型的更新换代型 ★管状分流，使用寿命长
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