Speed-Up Wafer-level Magnetic Test Hprobe 晶圆级测试仪

Hprobe 晶圆级测试仪是磁场下晶圆级表征及测试的工具。它采用的3D磁场发生器和的、可定制的、商业化硬件，为传感器到MRAM等磁性器件，提供完整的测试解决方案，该工具符合晶圆自动化 测试的标准。

北京普瑞亿科科技有限公司是国内盛名的仪器设备、系统方案和咨询服务提供商，成立于2007年，为北京市高新技术企业，通过ISO90001国际质量管理体系认证。主要从事生态环境、植物生理、土壤地质、农林水文、民航气象、环境遥感等领域相关仪器设备的自主研发和国外知名仪器设备在中国大陆的推广销售和技术服务工作。

公司坚定不移地推进科技创新和自主研发，组建了具有丰富仪器研发经验和精湛应用知识的高素质研发团队，携手中国科学院等各方合作伙伴先后获得北京市科委、中国科学院、国家科技部等单位的重大仪器设备研发项目支持并取得瞩目成果，开发出一系列具有自主知识产权的专li产品。相关产品包含不限于RhizoScan原位根系扫描仪、IPS-1000同位素光合仪、PRI-3000水真空抽提系统、PRI-3500 14C样品制备系统、PRI-8500地上地下廓线分析系统、PRI-8600通道土壤呼吸和群落光合控制系统、PRI-8650实验室土壤呼吸测量系统、PRI-8700在线通流土壤呼吸测量系统、PRI-8800 全自动变温土壤培养前处理系统、METLOG科研级气象站等，相关产品已经在中国生态系统研究网络CERN诸多单位安装运行，并取得用户的一致好评。

公司重视引进国际先进的仪器设备，通过10余年的不懈努力，先后获得美国Picarro、意大利NCT、英国CSS、美国AGT、法国APIX、美国Hydroinnova、法国Hprobe、美国UIC、美国ASI、德国Tec5、美国MicaSense、波兰E-TEST等世界知名仪器公司在中国的代理权，并设立了相关技术服务中心；同时与美国Thermo Fisher、PerkinElmer达成长期战略发展合作协议，旨在专业范围内，为客户提供科学有效的系统解决方案。

公司非常注重产品应用培训和售前售后服务支持，投资近千万元设置开放实验室并通过CMA认证，进行样品分析检测及测试方法探索、提供售前售后技术支持、参与国家标准制定等；设立了专业的技术支持服务团队，坚守“科学严谨、快速高效”的服务理念，为客户提供7×24小时快速响应和全方位技术支持，协助客户制定科研工作中所需的高级设备配置、探讨科研方案设计、分析科研数据及检验验证仪器设备等工作。稳定的产品质量与高效的服务支持赢得诸多客户的信赖，真正做到了“Science to Solutions”。

立足现在、着眼未来，公司始终奉行“诚信服务、质量优先、真诚合作、共同发展”的企业宗旨，秉承服务程序更简单、更灵活、更机动、响应速度更快的经营理念，积极为客户提供更安全、更优质、更可靠、更高效、更高性价比的解决方案和先进产品，让更多的用户获益于世界先进仪器设备带来的方便和快捷。

地址：北京市海淀区瀚河园路自在香山159号楼2单元202室 邮编：100093

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Speed-Up Wafer-level Magnetic Test

Hprobe 晶圆级测试仪

主要特点

§     大范围面内和垂直场

§     磁场三维可控

§     旋转磁场

§     嵌入式传感器校准 ( Hall 传感器 )

§     自动化测试程序

§     MRAM 参数提取软件

§     100mm~300mm 晶圆可测

§     兼容标准探针卡

Hprobe 测试仪是磁场下晶圆级表征及测试的工具。它采用的3D磁场发生器和的、可定制的、商业化硬件，为传感器到MRAM等磁性器件，提供完整的测试解决方案，该工具符合晶圆自动化 测试的标准。

技术说明

磁性 3D 发生器

Hprobe 测试仪采用的3D磁场发生器，其中每个磁场的空间轴都是驱动。通过控制 3 个轴的磁场，用户可实现任意方向磁场，同时 也可产生旋转磁场。 发生器提供所有的控制仪器、控制程序和校准工具。

3D磁性发生器位于探测器上，在晶圆上生成局部磁场，探针位于磁场发生器与晶圆之间。发 生器和探测器卡盘之间的标准z轴间距为 1mm，500µm 到 5mm 内可调。

校准

测试仪并没有为所有可能的磁性配置提供详尽 的标准数据表。但用户能够自定义额外定制磁 场类型，校准相应的线圈电流以产生需要的场 类型。

校准包括：

§    将理论磁场应用于待测器件

§    沿三轴测量感兴趣区域内的磁场测量数据用于补偿和调整在晶圆测试期间施加

的磁场。

校准测量用嵌入在探测器内的 3D 霍尔传感器 完成。

3D  校准传感器特征

§   角精度高

§   灵敏度5V /特斯拉

§   测量范围2特斯拉

§   差分输出

§   温度灵敏度：<100 ppm/°

§   在探头上集成温度传感器用于温度补偿

晶圆探测器

Hprobe 测试仪是由工业标准的晶圆探测器构 成，囊括 100mm 手动探测器到 300mm 全自 动，适于生产的探测器。探测器通常包括：

§     温控卡盘（热/冷）

§     探针卡定位可视化操作

§     晶圆装填器

§     单一晶圆承载器

§     嵌入式校准传感器

§     破碎晶圆承载器（可选）

其他特定的 HW/SW 探针选项可根据客户要求 定制。

探测器控制是通过我们的测试程序驱动的，针 对探测器功能提供完全的用户访问权限。

仪器

Hprobe 测试仪提供全套仪器来驱动和测量大多数磁性器件，比如 MRAM（STT，SOT，电压控制），

传感器（AMR，GMR，TMR）和磁性 MEMS。

预定义的仪器包括批量生产的源表（SMU），数字万用表（DMM），任意波形发生器（AWG）和脉 冲发生器。其他仪器可根据要求提供，并且可以轻松地集成在该工具的硬件和软件中。源测量单元 (S M U )

§     zui小测量范围 20mV

§     zui小量程 1nA

§     > 3,000 读数/秒

§     白噪声 2mV rms

数字万用表（ DM M ）

§     18 位，zui小测量范围 100mV

§     分辨率 10nV

§     zui小记录时间 1µs

任意波形发生器（ AW G ）

§     双通道，带宽 40MHz

§     正弦波，方波与脉冲高达 30MHz

§     斜率&三角波达 200kHz

探针

§     每个通道的任意波形 < 1Msample

§     zui大采样率 250Msample/秒

脉冲发生器

§     zui小脉冲宽度 300 ps

§     脉宽精度 10 ps

§     上升/下降时间 < 70 ps

(20%-80%)

§     输出幅度 10 mVpp~5 Vpp

§     zui大重复率 500 MHz/每通 道

§     触发到输出晃动 < 35ps

RMS

Hprobe测试仪易拓展，用户可使用工业用探针，也可以使用装有DC和RF探针的显微操纵器。的限

制是磁场发生器和晶片之间的间隔在高磁场下必须保持尽可能的小（<1mm）。

测试程序

测试程序包括用于满足用户需求的所有功能，从材料表征到产

品开发，到生产转化。  它以三种模式运行：

§     校准 - 设置磁场的配置和创建用户定义模式 (见下图)。

User Interface

§     工程 - 运行预先实施的测试模式或创建并运行完整的自定义特性描述和测试程序。

§     生产 - 从工程模式中利用优化时间来设置测试程序。

预先实施的测试模式包括（有或者无磁场）：

§     开放/短期测试

§     交流/直流 电流-电压，R-V 测试

§     交流/直流击穿电压测试

§     读/写脉冲测试

§     隧道磁阻

§     误码率

§     器件循环测试

§     （I，V，H）相图

测试程序示例

STT-MRAM 应用程序

TMR 传感器的应用

注释：

1 、 ST T - MR A M ： “ 存器 ”

自旋转移矩—磁随机存储器器件自旋转移矩—磁随机存储器器件（Spin Transfer Torque - Magnetic RandomAccess Memory

：STT-MRAM）就是一种接近“存储器”要求的具应用潜力的下一代存储器解决方案。

2 、磁定向 ( F i e l d O ri e n t a t i o n )

3、磁通密度B,单位面积的磁通,单位是 T[特斯拉]，磁通单位是 Wb[韦伯]，mT就是毫特斯拉；1T=1000mT=1Wb/m^2

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